离子束抛光设备是利用离子溅射原理，通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流，束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。
离子束抛光设备的维护保养：
1) 每工作8小时，要清理机身上的污垢、污物，清扫工作现场，清除排水沟内污物，冲洗时，应断开电源，并注意不能让水冲到电机、电器控制板、电眼等上面。
2) 每工作1周后，检查各紧固件是否紧固，运动件是否松动。
3) 每工作100小时，检查各环节的紧固情况，检查机器的磨损情况，检查各运动零件的润滑情况。
4) 按要求定期进行润滑工作。
5) 每工作6个月时，该换油的地方要换油，重复上述各项检查，对磨损严重的零件进行修复或更换。
6) 工作一年后，要进行大维护，对运转不良的轴承要更换，对零件的磨损作必要的检测、修理、更换，对密封件进行检查更换。
离子束抛光设备运行注意事项：
1) 正常运转时，要做到勤观察、多巡检，发现问题及时处理，切记不能开机进行修理和排除故障，本班内不能解决的问题要及时报告维修人员或车间处理，不准带故障运行。
2) 按照点检要求进行开机前点检和运行时巡检，如遇电气故障，必须停机通知电气维修工处理。
3) 下班停机后，一定要关电源。
4) 按要求填写好设备运行原始记录。
